중국에서 액침 DUV 노광장비 양산할 것이라는 보도 나와

상하이에 있는 중국 국영기업이 자국산 액침(immersion) 심자외선(DUV) 노광장비 양산에 들어가 올해 안에 SMIC와 화훙반도체(Hua Hong Semiconductor), 창신메모리(CXMT)에 첫 물량을 넘길 예정이라고 디인포메이션이 전했습니다.

사정에 정통한 소식통 2명을 인용한 정보기술 매체 디인포메이션의 보도에 따르면 중국 액침 DUV 노광장비의 생산 목표는 올해 5대, 내년 20대 안팎입니다.

디인포메이션의 보도에 제조사 이름은 공개되지 않았으나 국영 스타트업 상하이 위량성(Shanghai Yuliangsheng Technology)을 포함해 여러 중국 기업의 DUV 개발팀을 끌어모은 결과입니다.

그러나 새 장비 부품은 대부분 중국산이지만 핵심 부품 일부는 여전히 일본산에 의존하고 현지 공급업체가 늦어지면서 올해 생산에도 차질을 빚었습니다.

미국 의회에서 논의 중인 법안이 통과되면 ASML의 판매와 정비 지원을 아예 받지 못하게 되는 규제 대상 기업 명단에 SMIC와 화훙, 창신메모리 세 곳이 올랐는데, SMIC는 지난해 9월부터 이 회사의 침수식 장비를 시험해 왔습니다.

글쓴이 | Editor_B
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